一种芯片封装前的预处理方法

2022年03月24日 10:28  点击:[]

一种芯片封装前的预处理方法;方海生,罗显刚,马千里;ZL201710345190.4

本发明属于芯片封装领域,并公开了一种芯片封装前的预处理方法。其包括:(a)将待处理芯片划分为多个核心功能区,分别且同时加热各个核心功能区,使得各个核心功能区内部形成均匀的热应力;(b)将核心功能区从待处理芯片上分离得到所需待封装的部分,分离过程使得该部分的热应力得以释放,由此完成该待处理芯片封装前的预处理。通过本发明,有效控制芯片切割工艺产生的微裂纹以及其他影响芯片性能的晶体缺陷,提高芯片功能核心区的质量,显著提高芯片成品率和使用性能,降低生产成本。

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