课题组科技成果通过中国机械工业联合会鉴定

  2022年6月4日，中国机械工业联合会以视频会议形式组织了由华中科技大学等单位完成的“面向典型第三代半导体材料薄膜的气相沉积技术及成套装备”科技成果鉴定会。鉴定委员会认为，该成果技术难度大、创新性强，核心技术具有自主知识产权。总体技术达到国际先进水平，其中反应过程设计、温度复合测量及闭环控制技术处于国际领先，同意通过鉴定。