一种实时测量MOCVD反应腔内气相温度的飞秒CARS系统

一种实时测量MOCVD反应腔内气相温度的飞秒CARS系统；方海生，聂圻春，刘胜，甘志银；ZL202011538459.9

本发明公开了一种实时测量MOCVD反应腔内气相温度的飞秒CARS系统，包括MOCVD腔体系统、飞秒CARS系统，所述MOCVD腔体系统上设MOCVD反应腔激光入射口和MOCVD反应腔激光出射口，所述飞秒CARS系统的激光出射口与所述MOCVD反应腔激光入射口连接，所述飞秒CARS系统的激光入射口与所述MOCVD反应腔激光出射口连接。本发明利用飞秒CARS的知识，通过飞秒激光脉冲激发MOCVD中气相分子的拉曼振动，测量CARS信号，从而得到气相分子的温度信息，这为MOCVD气相测温提供了一种全新的解决方案。主要优点在于气相测温范围大，测量精度高，响应时间短，可测量反应腔全场温度。同时飞秒CARS系统的光学回路简单，成本低。