一种提拉法晶体生长炉

2018年12月15日 10:53  点击:[]

方海生,田俊,王森,蒋志敏,张梦杰,赵超杰,刘胜;ZL201410829489.3;一种提拉法晶体生长炉,属于提拉法单晶生长装置,解决现有提拉法晶体生长炉内由于冷却气的非对称流动引起的不稳定性和熔体内包裹体杂质在晶体中聚集的问题。本发明包括炉体、基座、内隔热层、电磁感应加热器、炉盖、坩埚、坩埚盖和籽晶杆;坩埚内固定有坩埚整流筒,坩埚整流筒下端具有沿圆周均布的矩形孔;籽晶杆下部通过径向呈辐射状均匀分布的肋条与隔热环连接,所述隔热环为圆环形,其外径与内隔热层的内径相适应。本发明设计简单可靠,能够有效的调节冷却气和熔体的流场,进而改善温度场,提高生长过程的稳定性,有利于提高高质量单晶的生长效率,节约成本,适用于各种不同温度梯度生长条件的晶体制备。

上一条:一种用于MOCVD设备的喷淋头 下一条:一种热场协调控制的提拉法晶体生长炉

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