设备与工艺

晶体生长设备（氮化镓MOCVD反应炉、多晶硅定向凝固炉、蓝宝石泡生炉、单晶硅提拉炉等）和高纯石英玻璃设备（真空电磁炉、电感下拉炉等）。本研究方向与材料和化学工程学科交叉较多，目前支撑项目有国家重点研发计划子课题、国家自然科学基金和公司横向课题。相关研究已开展15年，成果汇总于专著《晶体生长中输运现象及晶体缺陷》（科学出版社，2019，ISBN 9787030611628）